(资料图片仅供参考)
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表面化学反应是化学反应的一个重要分支,是很多化工过程的重要流程。化学气相沉积就是表面化学反应的一个重要应用。
在Fluent的Tutorial中详细介绍了一个砷化镓化学气相沉积工艺案例。但Tutorial案例的特点是只介绍软件操作流程,不讲解基本原理,所以Tutorial案例的适用读者是熟悉化学气相沉积理论和数值计算理论、但对Fluent软件操作不了解的人群。
初学者通过学习Tutorial案例操作流程后,通过多次练习,也可以做到熟知操作流程。但这依然无法解决初学者的问题,即不理解每步操作背后的含义。那么在独立创建自己的模型时,就容易遇到认知模糊的问题,感觉自己好像做的对,又感觉自己好像做的不那么对。
本课程分两部分内容。
理论内容:讲解表面化学反应的基本原理。通过拆解砷化镓化学气相沉积工艺的表面化学反应方程式,观察砷化镓化学气相沉积工艺的微观过程,理解表面化学反应中的各种基本概念。
实践内容:通过复现Tutorial砷化镓化学气相沉积工艺案例,详细讲解每一步软件操作背后的理论意义,从根本上理解化学气相沉积数值模拟过程,从而为同学们独立创建自己的化学气相沉积模型打好理论基础和软件使用基础。
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计算传热学大叔